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可測量殘留氣體成分的真空檢測技術(shù)分析

  • 發(fā)布日期:2023-02-20      瀏覽次數(shù):706
    • 可測量殘留氣體成分的真空檢測技術(shù)分析

      SC-10智能真空計是我公司開發(fā)的一款全新的全自動真空計,既可以測量殘余氣體成分,又可以測量全壓真空。總壓真空度從常壓到10-7Pa的
      超高真空,當(dāng)總壓達到50Pa左右時,氣體組分自動開始分壓,測量從10-5Pa左右到10-6Pa霸是可以的??梢栽诖殖閴悍秶鷥?nèi)測量氣體成分并進行泄漏檢查,這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。

      ?通過監(jiān)測殘留氣體成分,可以監(jiān)測真空設(shè)備的健康狀況,并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
      ?可以測量真空度(全壓)和氣體成分(分壓)的單體。

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      智能真空計可測量殘留氣體的成分,讓您在抽真空過程中快速了解真空設(shè)備的健康狀況,如泄漏、水汽脫氣等。下面兩張圖是同一臺設(shè)備的不同抽氣數(shù)據(jù),圖1是正常抽氣,水蒸氣是決定總壓真空度的主要成分,而圖2是因漏氣而使用氮氣。開始向下抽真空約5分鐘后停止,如果繼續(xù)抽真空,約10分鐘后氮氣超過水蒸氣,全壓真空度停止下降。通過使用智能真空計,您可以快速發(fā)現(xiàn)通過監(jiān)測總壓力真空無法檢測到的排氣異常及其原因。

      使用智能真空計,您不僅可以知道是否有泄漏,還可以通過吹氦氣或吹氬氣找到泄漏的位置。圖3為Smart Vacuum Gauge Gauge當(dāng)氬氣吹到泄漏點時的數(shù)據(jù),可以看出由于氬氣增加,氮氣減少,這里出現(xiàn)了泄漏。堵漏后,如圖4所示,氮氣和氧氣減少,水蒸氣成為主要成分,是典型的真空設(shè)備殘余氣體成分。

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      只需打開它并將其連接到您的 PC,無需其他操作。SC-10 內(nèi)置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓,當(dāng)總壓達到約 50 Pa 時,將自動開始殘留氣體成分的測量(分壓測量)。
      即使恢復(fù)到大氣壓力,氣體成分測量也會自動關(guān)閉,因此無需擔(dān)心。

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